特種氣體生產(chǎn)廠家-北京特種氣體-安徽譜純氣體：

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特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，北京特種氣體，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。

預制間的選擇

特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，特種氣體廠，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。

特種氣體在進樣中的注意事項

樣品氣的置換，由于特種氣都要經(jīng)過減壓器和管線后才能取樣，要準確取樣必須將減壓器和管線進行充分的置換，這種置換不是簡單意義上的吹掃。因為減壓器的死體積很大，不斷將鋼瓶閥打開關(guān)閉反復3次以上，每次將減壓器里的氣體排盡，特種氣體價格，然后再吹掃系統(tǒng)才能正確取樣。進樣管線的氣密性，進樣管線的泄漏，對樣品的數(shù)據(jù)的準確性有很大影響，電子特種氣體，對低濃度氧氣的影響更大。所以一定要嚴格檢查取樣管線的氣密性。

特種氣體系統(tǒng)的設計與施工

供氣系統(tǒng)的選擇

簡單供氣系統(tǒng)

簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構(gòu)以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續(xù)性供氣，對氣體供應系統(tǒng)的投資預算低。

惰性氣體瓶架則采用全手動系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時放在回風夾道，或直接放在工藝制造設備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險氣體一般共用一個抽風系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

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